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高清洁传送系统

MTQ 系列一般环境用搬运机器人

サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
PLP对应 伺服电机一般环境用清洁机器人

This product is the single robot developed for PLP.

产品特点

###Supported up to max. 650mm square substrate.

###Supported to long stroke elevating.

Specification

适用对象
角基盤 300~650㎜
运动轴
R轴/T轴/Z轴/S轴
运动范围
R:机械臂最大到达距离 760mm(from swivel center)T:±185degZ:500mmS:2000mm
运动时间
R:1.8sec/Full stroke(-520mm~760mm)T:2.0sec/180degZ:1.5sec/500mmS:2.5sec/2000mm
往返精确度
R:±0.2mmT:±0.03degZ:±0.1mmS:±0.25mm
駆动电机
AC 伺服电机
速度控制方式
S-sharped acceleration/deceleration control
通信规格
RS232C/ETHERNET
适用范围
Power:Supplied from controllerVAC:-80kPa or less 15L/min or moreΦ6 one-touch joint 2 systems
质量
机器人    Approx.110kg滑动导轨  Approx.220kg
サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
PLP对应 伺服电机一般环境用清洁机器人

This product is the double robot developed for PLP.

产品特点

###Supported up to max. 650mm square substrate.

###Supported to long stroke elevating.

Specification

适用对象
角基盤 300~650mm
运动轴
R1轴/R2轴/T轴/Z轴/S轴
运动范围
R:机械臂最大到达距离 760mm(from swivel center)T:±185degZ:500mmS:880mm
运动速度
R1轴・R2轴:1.5sec/1175mmT:1.8sec/180degZ:2.0sec/500mmS:1.5sec/880mm
往返精确度
R1轴・R2轴:±0.1mm、T:±0.03degZ:±0.1mmS:±0.25mm
駆动电机
AC 伺服电机
速度控制方式
S-sharped acceleration/deceleration change pulse generator control
通信规格
RS232C/ETHERNET
适用范围
Vacuum:-80kPa or less( Φ6×Φ4 tube one-touch joint connection ) 2systemsPower:Supplied from robot controller.
质量
机器人    Approx.140kg滑动导轨  Approx.150kg
サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
TT300A 系列 伺服电机一般环境用清洁机器人 TT300A-RA

本制品是应对EFEM开发的低价格,高性能智能传送机器人。

是龙云产品中事先高速传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###对应SEMI F47。

###与常规机相比,提高了零件・规格的共通率,实现了低价位。

###独自的高速替换系统,晶片的替换时间消减了50%。

###采用了新的控制系统,动作更高速平稳。

###与常规机相比运行范围缩小了15%,调节器的容积缩小了50%。

###可对应2FOUP无导轨。可装映射传感器。

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:430㎜(机械臂最大到达距离)T轴:370deg(原点:±185deg)Z轴:330㎜
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~230V 7.5A 1系统真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约35kg控制装置(TT300A):约10kg
サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
TT300A 系列 伺服电机一般环境用清洁机器人 TT300A-WA

本制品是应对EFEM开发的低价格,高性能智能传送机器人。

是龙云产品中事先高速传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###对应SEMI F47。

###与常规机相比,提高了零件・规格的共通率,实现了低价位。

###独自的高速替换系统,晶片的替换时间消减了50%。

###采用了新的控制系统,动作更高速平稳。

###与常规机相比运行范围缩小了15%,调节器的容积缩小了50%。

###可对应2FOUP无导轨。可装映射传感器。

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:346㎜(机械臂最大到达距离)T轴:370deg(原点:±185deg)Z轴:330㎜
往返精确度
R轴:±0.1㎜ (3σ)T轴:0.02deg (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~230V 7.5A 1系统真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约35kg控制装置(TT300A):约10kg
サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
TT300A 系列 伺服电机一般环境用清洁机器人 TT300A-WB

本制品是应对EFEM开发的低价格,高性能智能传送机器人。

是龙云产品中事先告诉传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###对应SEMI F47。

###与常规机相比,提高了零件・规格的共通率,实现了低价位。

###独自的高速替换系统,晶片的替换时间消减了50%。

###采用了新的控制系统,动作更高速平稳。

###与常规机相比运行范围缩小了15%,调节器的容积缩小了50%。

###可对应2FOUP无导轨。可装映射传感器。

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:250㎜(机械臂最大到达距离)T轴:370deg(原点:±185deg)Z轴:330㎜
往返精确度
R轴:±0.1㎜ (3σ)T轴:0.02deg (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~230V 7.5A 1系统真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约34kg控制装置(TT300A):约10kg
サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
TT300A 系列 伺服电机一般环境用清洁机器人 TT300A-SA

本制品是应对EFEM开发的低价格,高性能智能传送机器人。

是龙云产品中事先告诉传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###对应SEMI F47。

###与常规机相比,提高了零件・规格的共通率,实现了低价位。

###独自的高速替换系统,晶片的替换时间消减了50%。

###采用了新的控制系统,动作更高速平稳。

###与常规机相比运行范围缩小了15%,调节器的容积缩小了50%。

###可对应2FOUP无导轨。可装映射传感器。

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:346㎜(机械臂最大到达距离)T轴:370deg(原点:±185deg)Z轴:330㎜
往返精确度
R轴:±0.1㎜ (3σ)T轴:0.02deg (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~230V 7.5A 1系统真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约35kg控制装置(TT300A):约10kg
サーボモーター仕様フリーアクセスロボット
MTQ 系列 伺服电机自由访问型智能机器人 MTQ-E

本产品是对应直径300mm晶圆的智能传送机器人。

是龙云产品中事先告诉传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###以无导轨方式对应3FOUP。

###通过替换装置,实现了晶圆的高速替换。

###可以有偿选择映射传感器。

###R・T与Z轴可分离的构造,让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。

###提升机械臂的刚性,也为您准备了传送450mm晶圆的机型。

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:590㎜(机械臂最大到达距离)T轴:350deg(原点:±175deg)W轴:360deg(原点:±180deg) Z轴:300㎜P轴:180deg
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)P轴:0.02deg (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC208V 5A 1系统 :单相AC100V 7.5A 1系统真空:-80kPa以下 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约50kg控制装置(MCQ):约18kg
MTQ 系列 伺服电机自由访问型智能机器人 MTQ-C

本产品是对应直径300mm晶圆的智能传送机器人。

是龙云产品中事先告诉传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###以无导轨方式对应2FOUP。

###通过替换装置,实现了晶圆的高速替换。

###可以有偿选择映射传感器。

###R・T与Z轴可分离的构造,让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。

###提升机械臂的刚性,也为您准备了传送450mm晶圆的机型。

Specification

适用对象
Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:430㎜(机械臂最大到达距离)T轴:350deg(原点:±175deg)W轴:360deg(原点:±180deg) Z轴:300㎜P轴:180deg
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)P轴:0.05deg (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~AC230 5A 1系统Dryair:0.5MPa 150L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约50kg控制装置(MCQ):约18kg
MTQ 系列 伺服电机自由访问型智能机器人 MTQ-D

本产品是对应直径300mm晶圆的智能传送机器人。

是龙云产品中事先告诉传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###以无导轨方式对应2FOUP。

###通过替换装置,实现了晶圆的高速替换。

###可以有偿选择映射传感器。

###R・T与Z轴可分离的构造,让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。

###提升机械臂的刚性,也为您准备了传送450mm晶圆的机型。

Specification

适用对象
Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:480㎜(机械臂最大到达距离)T轴:350deg(原点:±175deg)W轴:360deg(原点:±180deg) Z轴:300㎜P轴:180deg
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)P轴:0.1deg (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~AC230 5A 1系统Dryair:0.5MPa 150L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约50kg控制装置(MCQ):约18kg
サーボモーター仕様フリーアクセスロボット
MTQ 系列 伺服电机自由访问型智能机器人 MTQ-G

本产品是对应直径450mm晶圆的传送机器人。

产品特点

###以无导轨方式对应2FOUP。

###通过替换装置,实现了晶圆的高速替换。

###可以有偿选择映射传感器。

###R・T与Z轴可分离的构造,让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。

###提升机械臂的刚性,也为您准备了传送450mm晶圆的机型。

Specification

适用对象
Φ300㎜~~Φ450㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:590㎜(机械臂最大到达距离)T轴:350deg(原点:±175deg)W轴:360deg(原点:±180deg) Z轴:300㎜P轴:180deg
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)P轴:0.05deg (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~AC230 5A 1系统Dryair:0.5MPa 150L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约50kg控制装置(MCQ):约18kg
ステッピングモーター仕様フリーアクセスロボット
MTSR 系列 步进电机自由访问型智能机器人 MTSR-3

本产品是对应Φ300mm晶圆的智能搬运机器人。

产品特点

###可以有偿选择映射传感器。

###最佳的软件将装置的活动范围控制在最小,内置型控制器为您节省了空间

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:374㎜(机械臂最大到达距离)T轴:370deg(原点:±185deg)Z轴:380㎜
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,RS-485
适用电源
电源:驱动DC24V±5% 10A :控制DC24V±5% 3.15A真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约35kg控制装置(MCQ):约10kg
ステッピングモーター仕様フリーアクセスロボット
MTSR 系列 步进电机自由访问型智能机器人 MTSR-4

本产品是对应Φ300mm晶圆的智能搬运机器人。

产品特点

###以无导轨方式对应2FOUP

###可以有偿选择映射传感器

###最佳的软件将装置的活动范围控制在最小,内置型控制器为您节省了空间

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:470㎜(机械臂最大到达距离)T轴:370deg(原点:±185deg)W轴:370deg(原点:±185deg) Z轴:380㎜
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,RS-485
适用电源
电源:驱动DC24V±5% 10A  :控制DC24V±5% 3.15A真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约35kg控制装置(MCQ):约10kg
sys-info@tazmo.co.jp

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