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高清洁传送系统

MTSR 系列一般环境用搬运机器人

ステッピングモーター仕様フリーアクセスロボット
MTSR 系列 步进电机自由访问型智能机器人 MTSR-3

本产品是对应Φ300mm晶圆的智能搬运机器人。

产品特点

###可以有偿选择映射传感器。

###最佳的软件将装置的活动范围控制在最小,内置型控制器为您节省了空间

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:374㎜(机械臂最大到达距离)T轴:370deg(原点:±185deg)Z轴:380㎜
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,RS-485
适用电源
电源:驱动DC24V±5% 10A :控制DC24V±5% 3.15A真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约35kg控制装置(MCQ):约10kg
ステッピングモーター仕様フリーアクセスロボット
MTSR 系列 步进电机自由访问型智能机器人 MTSR-4

本产品是对应Φ300mm晶圆的智能搬运机器人。

产品特点

###以无导轨方式对应2FOUP

###可以有偿选择映射传感器

###最佳的软件将装置的活动范围控制在最小,内置型控制器为您节省了空间

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:470㎜(机械臂最大到达距离)T轴:370deg(原点:±185deg)W轴:370deg(原点:±185deg) Z轴:380㎜
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,RS-485
适用电源
电源:驱动DC24V±5% 10A  :控制DC24V±5% 3.15A真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约35kg控制装置(MCQ):约10kg
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