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FPD制造设备

FPD/PLP涂布机TZ系列

ガントリー移動型塗布装置
TZ系列 龙门移动式涂布装置 TZS

量産技術确立!

产品特点

###高性能定量吐出泵

###高精度药液喷嘴

###高速涂布

###机器人搬送

###配有带锁定机构的安全盖

###配备药液喷嘴头清洗管理机构

###配备自动涂布液和清洗液供应系统

###减压真空干燥机配套出售

###销售实绩多台

Specification

基板尺寸
最大:1,500×1,850mm
基板厚度
标准:0.4mm~1.1mm
Pump吐出容量
标准:20cc,200cc
涂布药液粘度
标准:0.5~50cP
涂布均一性
标准:<±3%(Dry膜厚2μm时)
装置外形尺寸
具体仕样要求需细谈
エア浮上型塗布装置
TZ系列 气浮涂布装置 TZFC

大型化特殊技術对应!

产品特点

###高性能定量吐出泵

###高精度药液喷嘴

###机器人搬送

###配有带锁定机构的安全盖

###配备药液喷嘴头清洗管理结构

###配备自动涂布液和清洗液供应系统

###翘曲基板可对应

###基板表面不平整可对应

###因采用Jobchange机构有效缩短了换液时间

###EFEM对应

###带热板减压干燥机&Hot plate配套出售

###开启新PLP涂布领域

Specification

基板尺寸
最大:2,940×3,370mm 最小:2,200×2,500mm
基板厚度
标准:0.4mm~0.7mm
Pump吐出容量
标准:200cc,400cc
涂布药液粘度
标准:0.5~50cP
涂布均一性
标准:<±3%(Dry膜厚2μm时)
装置外形尺寸
具体仕样要求需细谈
ガントリー移動型塗布装置
TZ系列 龙门移动式涂布装置 TZ(PLP涂布对应)

汇集最新技術 NEW!

产品特点

###高性能定量吐出泵

###高精度药液喷嘴

###机器人搬送

###配有带锁定机构的安全盖

###配备药液喷嘴头清洗管理结构

###配备自动涂布液和清洗液供应系统

###翘曲基板可对应

###基板表面不平整可对应

###因采用Jobchange机构有效缩短了换液时间

###EFEM对应

###带热板减压干燥机&Hot plate配套出售

###开启新PLP涂布领域

Specification

基板尺寸
标准:510×515mm
基板厚度
标准:0.5mm~2.0mm
Pump吐出容量
标准:20cc、200cc
涂布药液粘度
标准:0.5~200cP
涂布均一性
具体仕样要求需细谈
装置外形尺寸
具体仕样要求需细谈
lcd-eg@tazmo.co.jp

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