PRODUCTS

FPD制造设备

TMC系列手动涂布机

テーブル移動型塗布装置
TMC系列 台式移动涂布装置 TMC14

性价比高!

产品特点

###高性能定量吐出泵

###高精度药液喷嘴

###省液化

###对应多种光阻材料

###实验设备

###驱动机构与大型设备接近可进行量产模拟

###可选择搭配带锁定机构的安全盖(option项目)

###可选择搭配减压干燥机(配套销售 option项目)

Specification

基板尺寸
最大:210×300mm
基板厚度
标准:0.3m~1.1mm
Pump吐出容量
标准:6cc,20cc
涂布药液粘度
标准:0.5~50cP
涂布均一性
标准:<±5%(Dry膜厚2μm时)
装置外形尺寸
W800/D680/H777 (mm) 270kg
テーブル移動型塗布装置
TMC系列 台式移动涂布装置 TMC25

高精度Slit涂布确立!

产品特点

###高性能定量吐出泵

###高精度药液喷嘴

###省液化

###对应多种光阻材料

###优化研发仕样

###驱动机构与大型设备接近可进行量产模拟

###配有带锁定机构的安全盖

###配有升降pin机构,基板抽取简单

###高粘度对应

Specification

基板尺寸
Max:400×500mm
基板厚度
标准:0.3m~1.1mm
Pump吐出容量
标准:6cc,20cc
涂布药液粘度
标准:0.5~50cP Option:~10,000cP
涂布均一性
标准:<±3%(Dry膜厚2μm时)
装置外形尺寸
W1400/D950/H2000 (mm) 1000kg
lcd-eg@tazmo.co.jp

CONTACT(中国語フォーム)

Company NameRequired
Department NameRequired
NameRequired
EmailRequired
Email(confirmation)Required
TELRequired
- -
Message

個人情報保護方針をお読みいただき、同意の上送信してください。


Sales Div. Process2 Business Unit

(086)239-5570

(086)239-5511

TOPへ戻る