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半导体制造相关设备

TIGRIS®半导体清洁装置

バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム
TIGRIS® 批量式晶圆浸没式清洁・刻蚀系统

批量清洗设备TIGRIS®200和TIGRIS®300是兼容200mm / 300mm晶圆的高性能浸没清洁/蚀刻系统,并将专有技术加入行业标准规格中。通过使用各种监视器来管理清洗流程,实现了高质量的晶圆清洗。此外,还可以选装环保性优良的PSYRION®和NISON®1800磷酸再生系统,减少了化学药品的使用量。

产品特点

平台

配备有可高速处理的晶圆搬运系统。

工艺单元

  ###通过使用各种监视器的管理方法,可以实现高质量的清洁流程。

  ###通过安装可选的磷酸再生系统PSYRION®或NISON®1800,助力环保措施并减少化学药品的用量。

  ###处理模块可以自由布置。

操作性

操作界面简洁明了,易于上手。

Specification

适用的加工对象
φ200 & 300 mm晶圆
mla-sag@tazmo.co.jp

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