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半导体制造相关设备

CMP研磨液供给系统iSIS1200J

デュアルエンジン スラリー希釈混合供給システム
iSIS1200J 双擎研磨液稀释混合供给系统

iSIS1200J是在两个机柜中的每个机柜中均配备有混合单元,供应单元和储液箱的设备。可以灵活地进行操作,例如防止由于冗余而导致的停机,在设备维护期间使用后备机保持运转以及同时供应两种不同类型的研磨液。

产品特点

             ###具有溶解粉末功能的原液桶柜。

             ###基于New MX2000或iSIS1200J的供给系统。

             ###可以对复数台研磨设备集中供应

             ###可通过触摸屏面板进行各种运行操作,设定以及监视各种参数。

             ###具有监视功能,例如警报历史记录,原液桶条形码管理和操作数据记录。

             ###具有手动操作模式,自动清洗等设备维护保养功能

             ###配有浓度计量器和过滤器。

             ###支持各种客制化设置,例如更改粉末容器的尺寸。

             ###可提供如阀门箱,电源面板,监视面板等各种附带设备。

mla-sag@tazmo.co.jp

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