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半导体制造相关设备

NISON®磷酸处理设备

リン酸再生装置
PSYRION® 磷酸再生设备

在使用热磷酸刻蚀氮化硅膜的工艺过程中,由于刻蚀而生成的硅会导致热磷酸内的硅浓度上升。因此需要定期地更换热磷酸溶液。利用弊社开发的独创技术,可将这些不需要的硅去除,使得磷酸的再生和再利用成为可能。PSYRION®被各大顶尖半导体制造商所采用,有效减少了半导体工艺中化学溶剂的消耗,为环境保护做出了贡献。

产品特点

             ###大幅减少磷酸的使用量以及使用成本。

             ###抑制了环境污染物磷酸废液的排放,为贵司的环境污染对策做出贡献。

             ###磷酸的再生没有次数限制。

             ###可与同时与复数个Wet Station以及处理槽连接。

             ###适配于所有Wet Station制造商的任意机型。

             ###提供多种可选择的功能。

珪素濃度調整装置
BLEND UNIT 硅浓度调节设备

在热磷酸处理过程中,为了防止处理槽内的化学溶液旧换新之后出现的硅浓度过低,需要使用非生产性晶圆来进行浓度调整,从而导致了生产效率降低。为了解决这一问题,我司研制了一种硅浓度调节设备。该设备可精确测定废液中的硅浓度,并混合适量的磷酸,使生成任意硅浓度的磷酸成为可能。使用该设备后,化学溶液旧换新之后无需硅浓度调节即可投入使用,提高了热磷酸处理的生产性。

产品特点

  ###处理槽内化学溶液交换后无需Dummy running,提升了生产效率。为非生产性晶圆(NPW)消耗的降低做出贡献。

  ###搭载了我司独立开发的硅浓度监视器。

  ###准确测定磷酸废液中硅的浓度,计算出所需磷酸的量,使生成任意硅浓度的磷酸溶液成为可能。

  ###设备内的磷酸系部件可进行自动清洁。

  ###提供多种可选择的功能。

リン酸高温循環装置
NISON®1800 热磷酸循环设备

我司开发的NISON®1800作为热磷酸刻蚀氮化硅膜的工艺中不可或缺的设备,多年来被半导体业界所广泛采用至今。凭借其优良性能,受到了顾客们的高度赞赏。我们积极地对氮化硅膜刻蚀机制进行解析,将依存与传统经验进行控制的刻蚀处理转化为数字化控制,定义了热磷酸处理的业界标准。

产品特点

                ###被半导体的生产现场所公认多年的优良处理性能。

                ###通过控制处理槽内的溶液保持沸腾,进而维持高而稳定的刻蚀效率。

                ###提供对应双处理槽的Duel type。

mla-sag@tazmo.co.jp

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