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半导体制造相关设备

BLEND UNIT磷酸处理设备

珪素濃度調整装置
BLEND UNIT 硅浓度调节设备

在热磷酸处理过程中,为了防止处理槽内的化学溶液旧换新之后出现的硅浓度过低,需要使用非生产性晶圆来进行浓度调整,从而导致了生产效率降低。为了解决这一问题,我司研制了一种硅浓度调节设备。该设备可精确测定废液中的硅浓度,并混合适量的磷酸,使生成任意硅浓度的磷酸成为可能。使用该设备后,化学溶液旧换新之后无需硅浓度调节即可投入使用,提高了热磷酸处理的生产性。

产品特点

  ###处理槽内化学溶液交换后无需Dummy running,提升了生产效率。为非生产性晶圆(NPW)消耗的降低做出贡献。

  ###搭载了我司独立开发的硅浓度监视器。

  ###准确测定磷酸废液中硅的浓度,计算出所需磷酸的量,使生成任意硅浓度的磷酸溶液成为可能。

  ###设备内的磷酸系部件可进行自动清洁。

  ###提供多种可选择的功能。

mla-sag@tazmo.co.jp

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