PRODUCTS

半导体制造相关设备

NISON®磷酸处理设备

リン酸高温循環装置
NISON®1800 热磷酸循环设备

我司开发的NISON®1800作为热磷酸刻蚀氮化硅膜的工艺中不可或缺的设备,多年来被半导体业界所广泛采用至今。凭借其优良性能,受到了顾客们的高度赞赏。我们积极地对氮化硅膜刻蚀机制进行解析,将依存与传统经验进行控制的刻蚀处理转化为数字化控制,定义了热磷酸处理的业界标准。

产品特点

                ###被半导体的生产现场所公认多年的优良处理性能。

                ###通过控制处理槽内的溶液保持沸腾,进而维持高而稳定的刻蚀效率。

                ###提供对应双处理槽的Duel type。

mla-sag@tazmo.co.jp

CONTACT(中国語フォーム)

Company NameRequired
Department NameRequired
NameRequired
EmailRequired
Email(confirmation)Required
TELRequired
- -
Message

個人情報保護方針をお読みいただき、同意の上送信してください。


Sales Div.Apprecia Business Unit

(03)6892-5123

(03)6233-9730

TOPへ戻る