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高清洁传送系统

一般环境用搬运机器人

サーボモーター仕様フリーアクセスロボット
MTQ 系列 伺服电机自由访问型智能机器人 MTQ-E

本产品是对应直径300mm晶圆的智能传送机器人。

是龙云产品中事先告诉传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###以无导轨方式对应3FOUP。

###通过替换装置,实现了晶圆的高速替换。

###可以有偿选择映射传感器。

###R・T与Z轴可分离的构造,让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。

###提升机械臂的刚性,也为您准备了传送450mm晶圆的机型。

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:590㎜(机械臂最大到达距离)T轴:350deg(原点:±175deg)W轴:360deg(原点:±180deg) Z轴:300㎜P轴:180deg
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)P轴:0.02deg (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC208V 5A 1系统 :单相AC100V 7.5A 1系统真空:-80kPa以下 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约50kg控制装置(MCQ):约18kg
MTQ 系列 伺服电机自由访问型智能机器人 MTQ-C

本产品是对应直径300mm晶圆的智能传送机器人。

是龙云产品中事先告诉传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###以无导轨方式对应2FOUP。

###通过替换装置,实现了晶圆的高速替换。

###可以有偿选择映射传感器。

###R・T与Z轴可分离的构造,让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。

###提升机械臂的刚性,也为您准备了传送450mm晶圆的机型。

Specification

适用对象
Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:430㎜(机械臂最大到达距离)T轴:350deg(原点:±175deg)W轴:360deg(原点:±180deg) Z轴:300㎜P轴:180deg
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)P轴:0.05deg (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~AC230 5A 1系统Dryair:0.5MPa 150L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约50kg控制装置(MCQ):约18kg
MTQ 系列 伺服电机自由访问型智能机器人 MTQ-D

本产品是对应直径300mm晶圆的智能传送机器人。

是龙云产品中事先告诉传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###以无导轨方式对应2FOUP。

###通过替换装置,实现了晶圆的高速替换。

###可以有偿选择映射传感器。

###R・T与Z轴可分离的构造,让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。

###提升机械臂的刚性,也为您准备了传送450mm晶圆的机型。

Specification

适用对象
Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:480㎜(机械臂最大到达距离)T轴:350deg(原点:±175deg)W轴:360deg(原点:±180deg) Z轴:300㎜P轴:180deg
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)P轴:0.1deg (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~AC230 5A 1系统Dryair:0.5MPa 150L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约50kg控制装置(MCQ):约18kg
サーボモーター仕様フリーアクセスロボット
MTQ 系列 伺服电机自由访问型智能机器人 MTQ-G

本产品是对应直径450mm晶圆的传送机器人。

产品特点

###以无导轨方式对应2FOUP。

###通过替换装置,实现了晶圆的高速替换。

###可以有偿选择映射传感器。

###R・T与Z轴可分离的构造,让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。

###提升机械臂的刚性,也为您准备了传送450mm晶圆的机型。

Specification

适用对象
Φ300㎜~~Φ450㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:590㎜(机械臂最大到达距离)T轴:350deg(原点:±175deg)W轴:360deg(原点:±180deg) Z轴:300㎜P轴:180deg
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)P轴:0.05deg (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~AC230 5A 1系统Dryair:0.5MPa 150L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约50kg控制装置(MCQ):约18kg
lcd-eg@tazmo.co.jp

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