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高清洁传送系统

一般环境用搬运机器人

サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
TT300A 系列 伺服电机一般环境用清洁机器人 TT300A-RA

本制品是应对EFEM开发的低价格,高性能智能传送机器人。

是龙云产品中事先高速传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###对应SEMI F47。

###与常规机相比,提高了零件・规格的共通率,实现了低价位。

###独自的高速替换系统,晶片的替换时间消减了50%。

###采用了新的控制系统,动作更高速平稳。

###与常规机相比运行范围缩小了15%,调节器的容积缩小了50%。

###可对应2FOUP无导轨。可装映射传感器。

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:430㎜(机械臂最大到达距离)T轴:370deg(原点:±185deg)Z轴:330㎜
往返精确度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~230V 7.5A 1系统真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约35kg控制装置(TT300A):约10kg
サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
TT300A 系列 伺服电机一般环境用清洁机器人 TT300A-WA

本制品是应对EFEM开发的低价格,高性能智能传送机器人。

是龙云产品中事先高速传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###对应SEMI F47。

###与常规机相比,提高了零件・规格的共通率,实现了低价位。

###独自的高速替换系统,晶片的替换时间消减了50%。

###采用了新的控制系统,动作更高速平稳。

###与常规机相比运行范围缩小了15%,调节器的容积缩小了50%。

###可对应2FOUP无导轨。可装映射传感器。

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:346㎜(机械臂最大到达距离)T轴:370deg(原点:±185deg)Z轴:330㎜
往返精确度
R轴:±0.1㎜ (3σ)T轴:0.02deg (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~230V 7.5A 1系统真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约35kg控制装置(TT300A):约10kg
サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
TT300A 系列 伺服电机一般环境用清洁机器人 TT300A-WB

本制品是应对EFEM开发的低价格,高性能智能传送机器人。

是龙云产品中事先告诉传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###对应SEMI F47。

###与常规机相比,提高了零件・规格的共通率,实现了低价位。

###独自的高速替换系统,晶片的替换时间消减了50%。

###采用了新的控制系统,动作更高速平稳。

###与常规机相比运行范围缩小了15%,调节器的容积缩小了50%。

###可对应2FOUP无导轨。可装映射传感器。

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:250㎜(机械臂最大到达距离)T轴:370deg(原点:±185deg)Z轴:330㎜
往返精确度
R轴:±0.1㎜ (3σ)T轴:0.02deg (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~230V 7.5A 1系统真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约34kg控制装置(TT300A):约10kg
サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
TT300A 系列 伺服电机一般环境用清洁机器人 TT300A-SA

本制品是应对EFEM开发的低价格,高性能智能传送机器人。

是龙云产品中事先告诉传送,高清洁的旗舰版。

产品特点

###对应SEMI F47。

###与常规机相比,提高了零件・规格的共通率,实现了低价位。

###独自的高速替换系统,晶片的替换时间消减了50%。

###采用了新的控制系统,动作更高速平稳。

###与常规机相比运行范围缩小了15%,调节器的容积缩小了50%。

###可对应2FOUP无导轨。可装映射传感器。

Specification

适用对象
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
运动范围
R轴:346㎜(机械臂最大到达距离)T轴:370deg(原点:±185deg)Z轴:330㎜
往返精确度
R轴:±0.1㎜ (3σ)T轴:0.02deg (3σ)Z轴:±0.05㎜ (3σ)
晶圆保持方法
可任意选择
晶片保持确认
数字显示真空传感器
控制方式
RS232C,ETHERNET
适用电源
电源:单相AC200V~230V 7.5A 1系统真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)
重量
本体:约35kg控制装置(TT300A):约10kg
sys-eg@tazmo.co.jp

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