PRODUCTS製品情報

FPD製造装置

FPDコーター/PLPコーター

TZシリーズエア浮上型塗布装置 TZFC

大型化に特殊技術で対応！（※現在、一時的に生産を中止しております。）

製品特徴

###高性能定量吐出ポンプ
###高精度ノズル
###高速塗布対応
###ロボット搬送に対応
###ロック機構付安全カバー搭載
###ノズル先端管理ユニット搭載
###塗布液＆洗浄液自動供給システム搭載
###エア浮上式の為基板裏面接触によるダメージ削減
###エア浮上式の為基板剥離による静電気問題無
###基板連続投入による高速スループットに対応
###大型減圧乾燥機もセットで販売
###納入実績多数

製品規格

基板サイズ: 最大：2940×3370mm最小：2200×2500mm
基板厚み: 標準：0.4ｍｍ～0.7ｍｍ
ポンプ吐出容量: 標準：200cc,400cc
塗布液粘度: 標準：0.5～50cP
塗布均一性: 標準：＜±3％（Dry膜厚2μm時）
装置本体外形: 別途打合せ

プロセス2事業　営業課

（086）239-5570

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