PRODUCTS製品情報

半導体製造装置 半導体製造装置

半導体製造装置

半導体製造における塗布・現像装置をはじめ、貼合・剥離装置、洗浄装置や薬液の供給・再生装置など、各種プロセスに対応した幅広いラインナップを取り揃えています。長年培ってきたノウハウと最先端技術により生み出される製品は、世界から高い評価を得ております。タツモのオリジナリティ溢れる製品でお客様が抱える課題を解決へと導きます。

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FPD製造装置 FPD製造装置

FPD製造装置

様々な領域で使用される液晶ディスプレイをはじめ、各種フラットパネルの製造装置の開発・製造をしております。中でも液晶カラーフィルター用スリットコーター(塗布装置)は世界でも高いシェアを誇っています。ナノレベルの薄膜塗布を可能とすることにより、リーディングカンパニーとしてのポジショニングの確立を目指しております。

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クリーン搬送システム クリーン搬送システム

クリーン搬送システム

正確でスピーディなのはもちろんのこと、省スペース化にも対応した各種搬送システムを開発しております。中でもウェーハ搬送ロボットは、高スループット、高精度なハンドリングに加え、稼動の安定性と長期メンテナンスフリーが高い評価を得ており、ユーザーの要望に応える応用機能も付加しています。

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精密金型・樹脂成形品 精密金型・樹脂成形品

精密金型・
樹脂成形品

長年にわたって蓄積されたノウハウに裏打ちされたタツモの精密金型製作・精密部品加工・精密成形の技術は、様々なニーズに応え、高い評価を得ております。成形品における主力製品の一つであるキャリアテープ・コネクタは、金型設計から製品の生産まで一貫した体制により、低コストと短納期を同時に実現しています。

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Quark 紫外線転写装置

Quark紫外線照射装置

基盤サイズの大型化に伴う課題を克服し
「コスト低減・省スペース化・高精度処理」 を実現しました。

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