PRODUCTS製品情報

FPD製造装置

FPDコーター/PLPコーターTZシリーズ

エア浮上型塗布装置
TZシリーズ エア浮上型塗布装置 TZFC

大型化に特殊技術で対応!

製品特徴

###高性能定量吐出ポンプ
###高精度ノズル
###高速塗布対応
###ロボット搬送に対応
###ロック機構付安全カバー搭載
###ノズル先端管理ユニット搭載
###塗布液&洗浄液自動供給システム搭載
###エア浮上式の為基板裏面接触によるダメージ削減
###エア浮上式の為基板剥離による静電気問題無
###基板連続投入による高速スループットに対応
###大型減圧乾燥機もセットで販売
###納入実績多数

製品規格

基板サイズ
最大:2940×3370mm 最小:2200×2500mm
基板厚み
標準:0.4mm~0.7mm
ポンプ吐出容量
標準:200cc,400cc
塗布液粘度
標準:0.5~50cP
塗布均一性
標準:<±3%(Dry膜厚2μm時)
装置本体外形
別途打合せ
lcd-eg@tazmo.co.jp

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プロセス2事業 営業課

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