PRODUCTS製品情報

FPD製造装置

FPDコーター/PLPコーターTZシリーズ

ガントリー移動型塗布装置
TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置 TZ(PLPコーター向け)

最新技術を集約 NEW!

製品特徴

###高性能定量吐出ポンプ
###高精度ノズル
###ロボット搬送に対応
###ロック機構付安全カバー搭載
###ノズル先端管理ユニット搭載
###塗布液&洗浄液自動供給システム搭載
###基板の反りに対応
###基板表面の凸凹に対応
###ジョブチェンジ(液替え)仕様による時間短縮
###EFEM対応
###ホットプレート付減圧乾燥機&プリベークもセットで販売
###新規分野に参入

製品規格

基板サイズ
標準:510×515mm
基板厚み
標準:0.5mm~2.0mm
ポンプ吐出容量
標準:20cc、200cc
塗布液粘度
標準:0.5~200cP
塗布均一性
別途打合せ
装置本体外形
別途打合せ
lcd-eg@tazmo.co.jp

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プロセス2事業 営業課

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