PRODUCTS製品情報
FPD製造装置
FPDコーター/PLPコーター

TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置 TZS
量産技術確立!
製品特徴
###高性能定量吐出ポンプ
###高精度ノズル
###高速塗布対応
###ロボット搬送に対応
###ロック機構付安全カバー搭載
###ノズル先端管理ユニット搭載
###塗布液&洗浄液自動供給システム搭載
###減圧乾燥機もセットで販売
###納入実績多数
製品規格
- 基板サイズ
- 最大:1500×1850mm
- 基板厚み
- 標準:0.4mm~1.1mm
- ポンプ吐出容量
- 標準:20cc,200cc
- 塗布液粘度
- 標準:0.5~50cP
- 塗布均一性
- 標準:<±3%(Dry膜厚2μm時)
- 装置本体外形
- 別途打合せ
プロセス2事業 営業課
(086)239-5570
(086)239-5511