PRODUCTS製品情報

クリーン搬送システム

MTQシリーズ大気搬送ロボット

サーボモーター仕様フリーアクセスロボット
MTQシリーズ サーボモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTQ-E

本製品は、φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。
高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

製品特徴

###3FOUPにレールレスで対応します。
###チェンジャー機構により、ウェーハの入れ替え動作を高速に行ないます。
###マッピングセンサーも用意しております。
###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。
###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。

製品規格

適用ワーク
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:590㎜(アーム最大到達距離)T軸:350deg(原点:±175deg)W軸:360deg(原点:±180deg)Z軸:300㎜P軸:180deg
繰返し精度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z軸:±0.05㎜ (3σ)P軸:0.02deg (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,RS-485
ユーティリティ
電源:単相AC208V 5A 1系統   :単相AC100V 7.5A 1系統真空:-80kPa以下 1系統(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約50kgコントローラ(MCQ):約18kg
sys-info@tazmo.co.jp

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搬送事業 営業課

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