PRODUCTS製品情報
クリーン搬送システム
大気搬送ロボット
PLP 対応
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
ダブル
本製品は、PLPに特化したダブルアームロボットになります。
製品特徴
###ワークサイズ：最大650mm角基板まで対応しております。
###最大到達距離：1500mmまで対応しております。
製品規格
- 対象ワーク
- 角基盤 300～650mm
- 動作軸
- R1軸/R2軸/T軸/Z軸/S軸
- 動作範囲
- R：アーム最大到達距離 760mm（旋回中心より）T：±185degZ：500mmS：880mm
- 動作速度
- R1軸・R2軸：1.5sec/1175mmT：1.8sec/180degZ：2.0sec/500mmS：1.5sec/880mm
- 繰り返し精度
- R1軸・R2軸：±0.1mm、T：±0.03degZ：±0.1mmS：±0.25mm
- 駆動モーター
- ACサーボモーター
- 速度制御方式
- S字加減速度変更方式パネルジェネレータ制御
- 通信仕様
- RS232C/ETHERNET
- ユーティリティ
- 真空：-80kPa以下（Φ6×Φ4チューブ ワンタッチ継手接続）2系統動力：ロボットコントローラーより供給
- 質量
- ロボット 約140kgスライドレール 約150kg
搬送事業 営業課
（086）239-5570
（086）239-5511
