PRODUCTS製品情報

クリーン搬送システム

PLP 対応大気搬送ロボット

サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
PLP 対応 サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
ダブル

本製品は、PLPに特化したダブルアームロボットになります。

製品特徴

###ワークサイズ:最大650mm角基板まで対応しております。
###最大到達距離:1500mmまで対応しております。

製品規格

対象ワーク
角基盤 300~650mm
動作軸
R1軸/R2軸/T軸/Z軸/S軸
動作範囲
R:アーム最大到達距離 760mm(旋回中心より) T:±185deg Z:500mm S:880mm
動作速度
R1軸・R2軸:1.5sec/1175mm T:1.8sec/180deg Z:2.0sec/500mm S:1.5sec/880mm
繰り返し精度
R1軸・R2軸:±0.1mm、 T:±0.03deg Z:±0.1mm S:±0.25mm
駆動モーター
ACサーボモーター
速度制御方式
S字加減速度変更方式パネルジェネレータ制御
通信仕様
RS232C/ETHERNET
ユーティリティ
真空:-80kPa以下 (Φ6×Φ4チューブ ワンタッチ継手接続)2系統 動力:ロボットコントローラーより供給
質量
ロボット     約140kg スライドレール  約150kg
lcd-eg@tazmo.co.jp

お問い合わせ・ご相談

貴社名必須
部署名必須
氏名必須
メールアドレス必須
メールアドレス(確認)必須
郵便番号必須
-
都道府県必須
市区町村必須
番地必須
建物等任意
電話番号必須
- -
お問い合わせ・ご相談内容必須

個人情報保護方針をお読みいただき、同意の上送信してください。


搬送事業 営業課

(086)239-5570

(086)239-5511

TOPへ戻る