PRODUCTS製品情報

クリーン搬送システム

大気搬送ロボット

TT301A-RAシリーズサーボモーター仕様
大気用クリーンロボット TT301A-RA

本製品は､EFEM用に開発した低価格､高性能な搬送ロボットです｡
高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

製品特徴

###高信頼性設計による18ヶ月保証対象製品です｡
###SEMI F47に対応しています｡
###従来機より､部品・モジュールの共通化率を高め､低価格を実現しました｡
###独自の高速入替機構により､ウェーハ入替時間を50％削減しました｡
###新制御システムの採用により､高速で滑らかな動作を実現しました｡
###従来機より､ロボットフットプリント15％､コントローラ容積50％のサイズダウンを実現しました｡
###2FOUPにレールレスで対応します。
###マッピングセンサーも用意しております。

製品規格

適用ワーク: Φ100㎜～Φ300㎜ SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲: R軸：430㎜(アーム最大到達距離)T軸：370deg(原点：±185deg)Z軸：330㎜
繰返し精度: X,Y方向：±0.1㎜ (3σ) Z軸：±0.05㎜ (3σ)
ウェーハ把持方法: 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認: デジタル表示付き真空センサー
制御方法: RS232C,ETHERNET
ユーティリティ: 電源：単相AC200V～230V 7.5A 1系統真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継手接続）
重量: 本体：約35kg コントローラ(TT301A)：約10kg

搬送事業　営業課

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