PRODUCTS製品情報

クリーン搬送システム

TT300Aシリーズ大気搬送ロボット

サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT300Aシリーズ サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT300A-WA

本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボットです。
高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

製品特徴

###高信頼性設計による3年保証対象製品です。
###SEMI F47に対応しています。
###従来機より、部品・モジュールの共通化率を高め、低価格を実現しました。
###新制御システムの採用により、高速で滑らかな動作を実現しました。
###従来機より、ロボットフットプリント15%、コントローラ容積50%のサイズダウンを実現しました。
###高信頼設計による3年保証対象製品です。
###マッピングセンサーも用意しております。

製品規格

適用ワーク
Φ100㎜~Φ300㎜ SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:346㎜(アーム最大到達距離) T軸:370deg(原点:±185deg) Z軸:330㎜"
繰返し精度
R軸:±0.1㎜ (3σ) T軸:0.02deg (3σ) Z軸:±0.05㎜ (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,ETHERNET
ユーティリティ
電源:単相AC200V~230V 7.5A 1系統 真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系統 (Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約35kg コントローラ(TT300A):約10kg
lcd-eg@tazmo.co.jp

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搬送事業 営業課

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