PRODUCTS製品情報
クリーン搬送システム
大気搬送ロボット
TT301A-WAシリーズ
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT301A-WA
本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボットです。
高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###高信頼性設計による18ヶ月保証対象製品です。
###SEMI F47に対応しています。
###従来機より、部品・モジュールの共通化率を高め、低価格を実現しました。
###新制御システムの採用により、高速で滑らかな動作を実現しました。
###従来機より、ロボットフットプリント15%、コントローラ容積50%のサイズダウンを実現しました。
###マッピングセンサーも用意しております。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸:346㎜(アーム最大到達距離)T軸:370deg(原点:±185deg)Z軸:330㎜"
- 繰返し精度
- R軸:±0.1㎜ (3σ)T軸:0.02deg (3σ)Z軸:±0.05㎜ (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,ETHERNET
- ユーティリティ
- 電源:単相AC200V~230V 7.5A 1系統真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系統(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
- 重量
- 本体:約35kgコントローラ(TT301A):約10kg
搬送事業 営業課
(086)239-5117
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