PRODUCTS製品情報
クリーン搬送システム
大気搬送ロボット
PLP 対応
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
シングル
本製品は、PLPに特化したシングルアームロボットになります。
製品特徴
###ワークサイズ:最大650mm角基板まで対応しております。
###最大到達距離:1500mmまで対応しております。
製品規格
- 対象ワーク
- 角基盤 300~650㎜
- 動作軸
- R軸/T軸/Z軸/S軸
- 動作範囲
- R:アーム最大到達距離 760mm(旋回中心より)T:±185degZ:500mmS:2000mm
- 動作時間
- R:1.8sec/フルストローク(-520mm~760mm)T:2.0sec/180degZ:1.5sec/500mmS:2.5sec/2000mm
- 繰り返し精度
- R:±0.2mmT:±0.03degZ:±0.1mmS:±0.25mm
- 駆動モーター
- ACサーボモーター
- 速度制御方式
- S字加減速制御
- 通信仕様
- RS232C/ETHERNET
- ユーティリティ
- 動力:コントローラーより供給VAC:-80kPa以下 15L/min以上Φ6ワンタッチ継手 2系統
- 質量
- ロボット 約110kgスライドレール 約220kg
搬送事業 営業課
(086)239-5570
(086)239-5511