PRODUCTS製品情報

半導体製造装置

CMPスラリー供給システムiSIS1200J

デュアルエンジン スラリー
希釈混合供給システム
iSIS1200J デュアルエンジン スラリー
希釈混合供給システム

iSIS1200Jは、2つのキャビネットそれぞれに混合部、供給部、タンクを搭載した装置です。冗長性によるダウンタイムの防止、メンテナンス時のバックアップ運転、2種類のスラリーを1台で供給、といったフレキシブルな運用が可能です。

製品特徴

###2系統の混合/供給部を搭載しています。
###真空吸引/窒素ガス圧送による供給方式です。
###複数台のCMP装置への集中供給が可能です。
###タッチパネルによる運転操作、各種設定、計器類モニター。
###アラーム履歴、原液ドラムバーコード管理、運転データロギングなど監視機能。
###手動操作、自動洗浄などメンテナンス機能。
###ポンプ供給方式への変更など各種カスタマイズに対応しています。
###付帯ユニット例として、ドラムキャビネット、バルブボックス、モニタリング機器、フィルター、電源盤、監視盤などをラインナップしています。

mla-sag@tazmo.co.jp

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