PRODUCTS製品情報

半導体製造装置

NISONリン酸プロセス装置

リン酸高温循環装置
NISON®1800 リン酸高温循環装置

NISON®1800は、熱リン酸による窒化膜エッチングに必要不可欠な装置として長年に渡り半導体業界で広く採用されてきました。その機能は、多くのユーザーより高い評価を受けています。窒化膜エッチングのメカニズム解析を積極的に進め、従来の経験的なエッチングからデジタル化された制御となり、熱リン酸プロセスにおけるデファクトスタンダードとなっています。

製品特徴

###フィールドで長年実証されてきたプロセス性能です。
###処理槽の沸騰制御により、安定的に高いエッチングレートを維持します。
###2つの処理槽に対応するデュアルタイプもラインナップしています。

mla-sag@tazmo.co.jp

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