PRODUCTS製品情報

半導体製造装置

TWSシリーズ貼合・剥離装置

支持体剥離層成膜装置
TWSシリーズ 支持体剥離層成膜装置

支持体となるガラスには、あらかじめリリース層となる膜を塗布しておく必要があります。 そのため、洗浄装置で洗浄後にリリース層を塗布します。 ID管理機能によりガラスの使用された回数のカウントが可能です。

製品特徴

プラットホーム

###ロボット搬送軸を中心に、ユニットが構成されています。 ###コータで実績のあるノウハウを投入し塗布の難しいリリース層液を高精度に仕上げます。

プロセスユニット

###高いスループットを達成 ###キャニスターキャビネット(オプション) ###有機溶剤を使用。

操作性

###GUI画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単にできます。

製品規格

処理ワーク
■2000シリーズ φ150~200mm ガラス(±1.0) ■3000シリーズ φ200~300mm ガラス(±1.0)
使用主剤
お問合せください。
溶剤
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塗布カップ
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ベーク
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カセット形式
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その他
安全仕様準拠
sem-eg@tazmo.co.jp

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プロセス1事業 営業課

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