PRODUCTS製品情報
半導体製造装置
貼合・剥離装置
TWSシリーズ 支持体剥離層成膜装置
支持体となるガラスには、あらかじめリリース層となる膜を塗布しておく必要があります。 そのため、洗浄装置で洗浄後にリリース層を塗布します。 ID管理機能によりガラスの使用された回数のカウントが可能です。
製品特徴
プラットホーム
###ロボット搬送軸を中心に、ユニットが構成されています。 ###コータで実績のあるノウハウを投入し塗布の難しいリリース層液を高精度に仕上げます。
プロセスユニット
###高いスループットを達成 ###キャニスターキャビネット(オプション) ###有機溶剤を使用。
操作性
###GUI画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単にできます。
製品規格
- 処理ワーク
- ■2000シリーズ φ150～200mm ガラス(±1.0) ■3000シリーズ φ200～300mm ガラス(±1.0)
- 使用主剤
- お問合せください。
- 溶剤
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- 塗布カップ
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- ベーク
- お問合せください。
- カセット形式
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- その他
- 安全仕様準拠
プロセス1事業 営業課
（086）239-5530
（086）239-5511
