PRODUCTS製品情報
クリーン搬送システム
真空ロボット
製品特徴
###全軸ACサーボモーターの採用、独自の構造により、10^-6Paの真空環境に対応しております。
###エンドエフェクタ部・ウェーハ把持部の材質について、ご相談下さいませ。
###昇降(Z軸)無しの仕様にも対応可能です。(ご相談下さいませ)
###ブランチ構造により、ダブルハンドの旋回半径を最小限に抑え、搬送距離は最大限長くした真空ロボットです。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100mm~Φ300mmSEMI/JEITA規格品ウェーハ6inch MASK
- 動作範囲
- R軸:590mm(アーム最大到達距離,エンドエフェクタを除く)T軸:370°(原点:±185°)Z軸:104mm
- 繰返し精度
- X,Y方向:±0.1mmZ軸±0.05mm
- ウェーハ把持方法
- 落とし込み
- ウェーハ把持確認
- N/A
- 耐真空度
- 10^-6Pa
- 通信方法
- RS232C,RS-485(シリアル通信)
- ユーティリティ
- 電源:単相 AC200V~230V±10% 5A 1系統
- 質量
- 本体:約76kgコントローラ(MCQ):約16kg
搬送事業 営業課
(086)239-5117
(086)239-5118