PRODUCTS製品情報

製品特徴

###粉体溶解機能付きドラムキャビネット。
###供給装置はNew MX2000またはiSIS1200Jがベースとなります。
###複数台のCMP装置への集中供給が可能です。
###タッチパネルによる運転操作、各種設定、計器類モニター。
###アラーム履歴、原液ドラムバーコード管理、運転データロギングなど監視機能。
###手動操作、自動洗浄などメンテナンス機能。
###濃度計、フィルター搭載。
###粉体容器サイズ変更など各種カスタマイズに対応しています。
###付帯ユニット例として、バルブボックス、電源盤、監視盤などをラインナップしています。