PRODUCTS製品情報

クリーン搬送システム

プリアライナー

MAF-TIシリーズ薄厚対応
ベルヌーイ式 MAF-TIBZ

ベルヌーイ効果を利用して、薄厚ウェハのオリフラ/ノッチ合わせ、センターリングを高速に行うユニットです。

製品特徴

###ウェーハセンタリング、角度合わせを持ち替えなしで行える為、高速処理が可能です。
###φ150mm～φ200mmのSEMI/JEIDAシリコンウェーハにマルチ対応可能です。
###ウェーハサイズ及びノッチ・オリフラの種別を自動認識するため、上位コントローラからの設定が不要です。
###RS-232Cによるシリアル通信で制御可能です。
###ラインセンサーにCCD方式の受光部素子を利用しています。

製品規格

適用ワーク: φ150mm～φ200mmSEMI/JEIDA規格ウェーハ※特殊品は御相談下さい。
処理時間: 5.5秒以内(持ち替え無し時)
処理精度: XY：±0.1mm以内 θ：±0.1°以内
処理可能範囲: ±5mm以内(ウェーハ中心ズレ量)
ウェーハ保持方法: 裏面を最小接触点にて保持
ウェーハ保持確認: 反射型赤色LEDセンサ
通信仕様: RS-232C
電源: 電源：DC24V±10％ 5A 1系統
重量: 本体：約14kg

搬送事業部　営業課

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