PRODUCTS製品情報

クリーン搬送システム

プリアライナー

MAF-TLシリーズ MAF-TLBZ

ベルヌーイ効果を利用して、薄厚ウェハのオリフラ/ノッチ合わせ、センターリングを高速に行うユニットです。

製品特徴

###ウェーハセンタリング、角度合わせを持ち替えなしで行える為、高速処理が可能です。
###φ100mm～φ150mmのSEMI/JEIDAシリコンウェーハにマルチ対応可能です。
###ウェーハサイズ及びノッチ・オリフラの種別を自動認識するため、上位コントローラからの設定が不要です。
###RS-232Cによるシリアル通信で制御可能です。
###ラインセンサーにCCD方式の受光部素子を利用しています。

製品規格

適用ワーク: φ100～150mm(厚み:50～800μm)ウェハ ※特殊品は御相談下さい。
処理時間: 5.5秒以内(持ち替え無し時)
処理精度: XY：±0.1mm以内 θ：±0.1°以内
処理可能範囲: ±5mm以内(ウェハ中心ズレ量)
ウェーハ保持方法: 裏面真空吸着
ウェハ保持確認: 反射型赤色LEDセンサ
通信仕様: RS-232C
ユーティリティ: 電源：DC24V±10％ 5A 1系統真空：-80kPa以下 1系統
質量: 本体：約14kg

搬送事業部　営業課

(086)239-5117

(086)239-5118