PRODUCTS製品情報

本製品は､φ450mmウェーハに対応した搬送ロボットです。

###2FOUPにレールレスで対応します。
###マッピングセンサーも用意しております。
###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。
###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。

適用ワーク: Φ300㎜～Φ450㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲: R軸：590㎜(アーム最大到達距離)T軸：350deg(原点：±175deg)W軸：360deg(原点：±180deg)Z軸：300㎜P軸：180deg
繰返し精度: X,Y方向：±0.1㎜　(3σ)Z軸：±0.05㎜　(3σ)P軸：0.05deg　(3σ)
ウェーハ把持方法: 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認: デジタル表示付き真空センサー
制御方法: RS232C,RS-485
ユーティリティ: 電源：単相AC200V～AC230V 5A 1系統ドライエア：0.5MPa 150L/min 以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継手接続）
重量: 本体：約65kgコントローラ(MCE)：約18kg

(086)239-5117

(086)239-5118