PRODUCTS製品情報
クリーン搬送システム
プリアライナー
![MAF-RA Series](https://tazmo.co.jp/wp/wp-content/themes/tazmo-new/common/img/products/pics/MAF-RAPN_S1313.png)
MAF-RAシリーズ
化合物・ガラス対応
裏面吸着式
MAF-RAPN
本製品は非接触にて、ウェーハのオリフラ合わせ・センターリングを高速で行うユニットです。
製品特徴
###ウェーハセンタリング、角度合わせを持ち替えなしで行える為、高速処理を行ないます。
###φ200mm~φ300mmのSEMI/JEIDAシリコンウェーハにマルチ対応可能です。
###ウェーハサイズ及びノッチ・オリフラの種別を自動認識するため、上位コントローラからの設定が不要です。
###コントローラを内蔵したコンパクトなデザインに仕上がっています。
###RS-232Cもしくは、RS-485によるシリアル通信または、フォトI/Oによるパラレル通信で制御可能です。
###ラインセンサーにCCD方式の受光部素子を利用し、透明ガラス、化合物半導体のアライメントを実現しています。
製品規格
- 適用ワーク
- φ200mm~φ300mmSEMI/JEIDA規格ウェーハ※ガラスウェーハなどの特殊品は御相談下さい。
- 処理時間
- 4.5秒以内(φ300mmを処理時)
- 処理精度
- XY:±0.1mm以内(3σ)θ:±0.1°以内(3σ)
- 処理可能範囲
- ±5mm以内(ウェーハ中心ズレ量)
- ウェーハ保持方法
- 裏面真空吸着
- ウェーハ保持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 通信仕様
- RS-232C,RS-485(シリアル通信)フォトI/O(パラレル通信)
- ユーティリティ
- 電源:DC24V±10% 5A 1系統真空:-80kPa以下 1系統
- 質量
- 本体:約12kg
搬送事業部 営業課
(086)239-5117
(086)239-5118