PRODUCTS製品情報

クリーン搬送システム

プリアライナー

MAF-RM シリーズ化合物・ガラス対応
裏面吸着式 MAF-RMZN

本製品は非接触にて、ウェーハのオリフラ合わせ・センターリングを高速で行うユニットです。

製品特徴

###ウェーハセンタリング、角度合わせを持ち替えなしで行える為、高速処理を行ないます。
###φ50.8mm～φ100mmのSEMI/JEIDAシリコンウェーハにマルチ対応可能です。
###ウェーハサイズ及びノッチ・オリフラの種別を自動認識するため、上位コントローラからの設定が不要です。
###コントローラを内蔵したコンパクトなデザインに仕上がっています。
###RS-232Cもしくは、RS-485によるシリアル通信または、フォトI/Oによるパラレル通信で制御可能です。
###ラインセンサーにCCD方式の受光部素子を利用し、透明ガラス、化合物半導体のアライメントを実現しています。

製品規格

適用ワーク: φ50.8mm～φ100mmSEMI/JEIDA規格ウェーハ※ガラスウェーハなどの特殊品は御相談下さい。
処理時間: 9.0秒以内(φ100mmを処理時)
処理精度: XY：±0.2mm以内（3σ)θ：±0.2°以内（3σ)
処理可能範囲: ±4mm以内(ウェーハ中心ズレ量)
ウェーハ保持方法: 裏面真空吸着
ウェーハ保持確認: デジタル表示付き真空センサー
通信仕様: RS-232C,RS-485(シリアル通信)フォトI/O(パラレル通信)
ユーティリティ: 電源：DC24V±10％ 5A 1系統真空：-80kPa以下 1系統ドライエア：0.4MPa±50kPa 1系統
質量: 本体：約12kg

搬送事業部　営業課

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