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纳米压印技术
纳米压印设备 DYAD®
TIW系列 纳米压印设备 全自动量产设备 DYAD®
对应Φ8／12英寸 规格是UV硬化
产品特点
###全自动量产设备（涂布/烘干/对准/键合/解键合）
###对应Φ8／12英寸 规格是UV硬化
###应用领域是AR/VR/MR,3D感应器等光学器件
###对准精度±1μ
###能对应高的深宽比，斜面图形
###各个单元和机械手在业界都有实绩
###无需解键合材料
Specification
| 晶圆大小 | 200mm/300mm | |
|---|---|---|
| 单元 | 卡夹 | FOUP 25段 |
| 搬送 | TAZMO制的机械手 | |
| 涂布 | 旋转式涂布机, 最大转速3,000rpm |
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| 烘烤 | P热盘式, 最大温度 250℃ |
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| 压印 | 冷盘/水冷式 | |
| Imprint | UV照射式 | |
| 解键合 | 无需解键合材料 | |
| 其他的选择项目 | 键合精度 ±1µm |
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MOVIE
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