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高清洁传送系统
一般环境用搬运机器人
TT301A 系列 伺服电机一般环境用清洁机器人 TT301A-RA
本制品是应对EFEM开发的低价格，高性能智能传送机器人。
是龙云产品中事先高速传送，高清洁的旗舰版。
产品特点
###对应SEMI F47｡
###与常规机相比，提高了零件・规格的共通率，实现了低价位｡
###独自的高速替换系统，晶片的替换时间消减了50%。
###采用了新的控制系统，动作更高速平稳。
###与常规机相比运行范围缩小了15%，调节器的容积缩小了50%。
###可对应2FOUP无导轨。可装映射传感器。
Specification
- 适用对象
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
- 运动范围
- R轴：430㎜(机械臂最大到达距离)T轴：370deg(原点：±185deg)Z轴：330㎜
- 往返精确度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z轴：±0.05㎜ (3σ)
- 晶圆保持方法
- 可任意选择
- 晶片保持确认
- 数字显示真空传感器
- 控制方式
- RS232C,ETHERNET
- 适用电源
- 电源：单相AC200V～230V 7.5A 1系统真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系统（Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接）
- 重量
- 本体：约35kg控制装置(TT301A)：约10kg
TT301A 系列 伺服电机一般环境用清洁机器人 TT301A-WA
本制品是应对EFEM开发的低价格，高性能智能传送机器人。
是龙云产品中事先高速传送，高清洁的旗舰版。
产品特点
###对应SEMI F47｡
###与常规机相比，提高了零件・规格的共通率，实现了低价位｡
###独自的高速替换系统，晶片的替换时间消减了50%。
###采用了新的控制系统，动作更高速平稳。
###与常规机相比运行范围缩小了15%，调节器的容积缩小了50%。
###可对应2FOUP无导轨。可装映射传感器。
Specification
- 适用对象
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
- 运动范围
- R轴：346㎜(机械臂最大到达距离)T轴：370deg(原点：±185deg)Z轴：330㎜
- 往返精确度
- R轴：±0.1㎜ （3σ)T轴：0.02deg （3σ)Z轴：±0.05㎜ （3σ)
- 晶圆保持方法
- 可任意选择
- 晶片保持确认
- 数字显示真空传感器
- 控制方式
- RS232C,ETHERNET
- 适用电源
- 电源：单相AC200V～230V 7.5A 1系统真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系统（Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接）
- 重量
- 本体：约35kg控制装置(TT301A)：约10kg
TT301A 系列 伺服电机一般环境用清洁机器人 TT301A-WB
本制品是应对EFEM开发的低价格，高性能智能传送机器人。
是龙云产品中事先告诉传送，高清洁的旗舰版。
产品特点
###对应SEMI F47｡
###与常规机相比，提高了零件・规格的共通率，实现了低价位｡
###独自的高速替换系统，晶片的替换时间消减了50%。
###采用了新的控制系统，动作更高速平稳。
###与常规机相比运行范围缩小了15%，调节器的容积缩小了50%。
###可对应2FOUP无导轨。可装映射传感器。
Specification
- 适用对象
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
- 运动范围
- R轴：250㎜(机械臂最大到达距离)T轴：370deg(原点：±185deg)Z轴：330㎜
- 往返精确度
- R轴：±0.1㎜ （3σ)T轴：0.02deg （3σ)Z轴：±0.05㎜ （3σ)
- 晶圆保持方法
- 可任意选择
- 晶片保持确认
- 数字显示真空传感器
- 控制方式
- RS232C,ETHERNET
- 适用电源
- 电源：单相AC200V～230V 7.5A 1系统真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系统（Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接）
- 重量
- 本体：约34kg控制装置(TT301A)：约10kg
TT301A 系列 伺服电机一般环境用清洁机器人 TT301A-SA
本制品是应对EFEM开发的低价格，高性能智能传送机器人。
是龙云产品中事先告诉传送，高清洁的旗舰版。
产品特点
###对应SEMI F47｡
###与常规机相比，提高了零件・规格的共通率，实现了低价位｡
###独自的高速替换系统，晶片的替换时间消减了50%。
###采用了新的控制系统，动作更高速平稳。
###与常规机相比运行范围缩小了15%，调节器的容积缩小了50%。
###可对应2FOUP无导轨。可装映射传感器。
Specification
- 适用对象
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
- 运动范围
- R轴：346㎜(机械臂最大到达距离)T轴：370deg(原点：±185deg)Z轴：330㎜
- 往返精确度
- R轴：±0.1㎜ （3σ)T轴：0.02deg （3σ)Z轴：±0.05㎜ （3σ)
- 晶圆保持方法
- 可任意选择
- 晶片保持确认
- 数字显示真空传感器
- 控制方式
- RS232C,ETHERNET
- 适用电源
- 电源：单相AC200V～230V 7.5A 1系统真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系统（Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接）
- 重量
- 本体：约35kg控制装置(TT301A)：约10kg
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