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高清洁传送系统
一般环境用搬运机器人
产品特点
###以无导轨方式对应3FOUP。
###通过替换装置，实现了晶圆的高速替换。
###可以有偿选择映射传感器。
###R・T与Z轴可分离的构造，让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。
###提升机械臂的刚性，也为您准备了传送450mm晶圆的机型。
Specification
- 适用对象
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
- 运动范围
- R轴：590㎜(机械臂最大到达距离)T轴：350deg(原点：±175deg)W轴：360deg(原点：±180deg） Z轴：300㎜P轴：180deg
- 往返精确度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z轴：±0.05㎜ (3σ)P轴：0.02deg (3σ)
- 晶圆保持方法
- 可任意选择
- 晶片保持确认
- 数字显示真空传感器
- 控制方式
- RS232C,ETHERNET
- 适用电源
- 电源：单相AC208V 5A 1系统 ：单相AC100V 7.5A 1系统真空：-80kPa以下 1系统（Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接）
- 重量
- 本体：约50kg控制装置(MCE)：约18kg
产品特点
###以无导轨方式对应2FOUP。
###通过替换装置，实现了晶圆的高速替换。
###可以有偿选择映射传感器。
###R・T与Z轴可分离的构造，让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。
###提升机械臂的刚性，也为您准备了传送450mm晶圆的机型。
Specification
- 适用对象
- Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
- 运动范围
- R轴：430㎜(机械臂最大到达距离)T轴：350deg(原点：±175deg)W轴：360deg(原点：±180deg） Z轴：300㎜P轴：180deg
- 往返精确度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z轴：±0.05㎜ (3σ)P轴：0.05deg (3σ)
- 晶圆保持方法
- 可任意选择
- 晶片保持确认
- 数字显示真空传感器
- 控制方式
- RS232C,ETHERNET
- 适用电源
- 电源：单相AC200V～AC230 5A 1系统Dryair:0.5MPa 150L/min以上 1系统（Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接）
- 重量
- 本体：约50kg控制装置(MCE)：约18kg
产品特点
###以无导轨方式对应2FOUP。
###通过替换装置，实现了晶圆的高速替换。
###可以有偿选择映射传感器。
###R・T与Z轴可分离的构造，让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。
###提升机械臂的刚性，也为您准备了传送450mm晶圆的机型。
Specification
- 适用对象
- Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
- 运动范围
- R轴：480㎜(机械臂最大到达距离)T轴：350deg(原点：±175deg)W轴：360deg(原点：±180deg） Z轴：300㎜P轴：180deg
- 往返精确度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z轴：±0.05㎜ (3σ)P轴：0.1deg (3σ)
- 晶圆保持方法
- 可任意选择
- 晶片保持确认
- 数字显示真空传感器
- 控制方式
- RS232C,ETHERNET
- 适用电源
- 电源：单相AC200V～AC230 5A 1系统Dryair:0.5MPa 150L/min以上 1系统（Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接）
- 重量
- 本体：约50kg控制装置(MCE)：约18kg
产品特点
###以无导轨方式对应2FOUP。
###通过替换装置，实现了晶圆的高速替换。
###可以有偿选择映射传感器。
###R・T与Z轴可分离的构造，让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。
###提升机械臂的刚性，也为您准备了传送450mm晶圆的机型。
Specification
- 适用对象
- Φ300㎜～～Φ450㎜SEMI/JEITA規格晶片
- 运动范围
- R轴：590㎜(机械臂最大到达距离)T轴：350deg(原点：±175deg)W轴：360deg(原点：±180deg） Z轴：300㎜P轴：180deg
- 往返精确度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z轴：±0.05㎜ (3σ)P轴：0.05deg (3σ)
- 晶圆保持方法
- 可任意选择
- 晶片保持确认
- 数字显示真空传感器
- 控制方式
- RS232C,ETHERNET
- 适用电源
- 电源：单相AC200V～AC230 5A 1系统Dryair:0.5MPa 150L/min以上 1系统（Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接）
- 重量
- 本体：约50kg控制装置(MCE)：约18kg
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