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高清洁传送系统
一般环境用搬运机器人
产品特点
###可以有偿选择映射传感器。
###最佳的软件将装置的活动范围控制在最小，内置型控制器为您节省了空间
Specification
- 适用对象
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
- 运动范围
- R轴：374㎜(机械臂最大到达距离)T轴：370deg(原点：±185deg)Z轴：380㎜
- 往返精确度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z轴：±0.05㎜ (3σ)
- 晶圆保持方法
- 可任意选择
- 晶片保持确认
- 数字显示真空传感器
- 控制方式
- RS232C,RS-485
- 适用电源
- 电源：驱动DC24V±5% 10A ：控制DC24V±5% 3.15A真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系统（Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接）
- 重量
- 本体：约35kg控制装置(MCQ)：约10kg
产品特点
###以无导轨方式对应2FOUP
###可以有偿选择映射传感器
###最佳的软件将装置的活动范围控制在最小，内置型控制器为您节省了空间
Specification
- 适用对象
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格晶片
- 运动范围
- R轴：470㎜(机械臂最大到达距离)T轴：370deg(原点：±185deg)W轴：370deg(原点：±185deg） Z轴：380㎜
- 往返精确度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z轴：±0.05㎜ (3σ)
- 晶圆保持方法
- 可任意选择
- 晶片保持确认
- 数字显示真空传感器
- 控制方式
- RS232C,RS-485
- 适用电源
- 电源：驱动DC24V±5% 10A ：控制DC24V±5% 3.15A真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系统（Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接）
- 重量
- 本体：约35kg控制装置(MCQ)：约10kg
Sales Div.Transfer Business Unit
(086)239-5117
(086)239-5118
