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纳米压印技术

纳米压印设备 DYAD®

纳米压印技术
TIW系列 纳米压印设备 全自动量产设备 DYAD®

对应Φ8/12英寸 规格是UV硬化

产品特点

###全自动量产设备(涂布/烘干/对准/键合/解键合)
###对应Φ8/12英寸 规格是UV硬化
###应用领域是AR/VR/MR,3D感应器等光学器件
###对准精度±1μ
###能对应高的深宽比,斜面图形
###各个单元和机械手在业界都有实绩
###无需解键合材料

Specification

晶圆大小 200mm/300mm
单元 卡夹 FOUP 25段
搬送 TAZMO制的机械手
涂布 旋转式涂布机,
最大转速3,000rpm
烘烤 P热盘式,
最大温度 250℃
压印 冷盘/水冷式
Imprint UV照射式
解键合 无需解键合材料
其他的选择项目 键合精度
±1µm

MOVIE

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