PRODUCTS
FPD制造设备
FPD/PLP涂布机
TZ系列 龙门移动式涂布装置 TZS
量産技術确立！（*目前暂时停止生产。）
产品特点
###高性能定量吐出泵
###高精度药液喷嘴
###高速涂布
###机器人搬送
###配有带锁定机构的安全盖
###配备药液喷嘴头清洗管理机构
###配备自动涂布液和清洗液供应系统
###减压真空干燥机配套出售
###销售实绩多台
Specification
- 基板尺寸
- 最大：1,500×1,850mm
- 基板厚度
- 标准：0.４mm～1.1mm
- Pump吐出容量
- 标准：20cc,200cc
- 涂布药液粘度
- 标准：0.5～50cP
- 涂布均一性
- 标准：＜±3％（Dry膜厚2μm时）
- 装置外形尺寸
- 具体仕样要求需细谈
TZ系列 气浮涂布装置 TZFC
大型化特殊技術对应!（*目前暂时停止生产。）
产品特点
###高性能定量吐出泵
###高精度药液喷嘴
###机器人搬送
###配有带锁定机构的安全盖
###配备药液喷嘴头清洗管理结构
###配备自动涂布液和清洗液供应系统
###翘曲基板可对应
###基板表面不平整可对应
###因采用Jobchange机构有效缩短了换液时间
###EFEM对应
###带热板减压干燥机＆Hot plate配套出售
###开启新PLP涂布领域
Specification
- 基板尺寸
- 最大：2,940×3,370mm最小：2,200×2,500mm
- 基板厚度
- 标准：0.4ｍｍ～0.7ｍｍ
- Pump吐出容量
- 标准：200cc,400cc
- 涂布药液粘度
- 标准：0.5～50cP
- 涂布均一性
- 标准：＜±3％（Dry膜厚２μm时）
- 装置外形尺寸
- 具体仕样要求需细谈
TZ系列 龙门移动式涂布装置 TZ（PLP涂布对应）
汇集最新技術 NEW!
产品特点
###高性能定量吐出泵
###高精度药液喷嘴
###机器人搬送
###配有带锁定机构的安全盖
###配备药液喷嘴头清洗管理结构
###配备自动涂布液和清洗液供应系统
###翘曲基板可对应
###基板表面不平整可对应
###因采用Jobchange机构有效缩短了换液时间
###EFEM对应
###带热板减压干燥机＆Hot plate配套出售
###开启新PLP涂布领域
Specification
- 基板尺寸
- 标准：510×515mm
- 基板厚度
- 标准：0.5ｍｍ～2.0ｍｍ
- Pump吐出容量
- 标准：20cc、200cc
- 涂布药液粘度
- 标准：0.5～200cP
- 涂布均一性
- 具体仕样要求需细谈
- 装置外形尺寸
- 具体仕样要求需细谈
Sales Div. Process2 Business Unit
（086）239-5570
（086）239-5511
