PRODUCTS
FPD制造设备
手动涂布机
TMC系列 台式移动涂布装置 TMC14
TMC系列暂时停产。
产品特点
###高性能定量吐出泵
###高精度药液喷嘴
###省液化
###对应多种光阻材料
###实验设备
###驱动机构与大型设备接近可进行量产模拟
###可选择搭配带锁定机构的安全盖（option项目）
###可选择搭配减压干燥机（配套销售 option项目）
Specification
- 基板尺寸
- 最大：210×300mm
- 基板厚度
- 标准：0.3ｍ～1.1ｍｍ
- Pump吐出容量
- 标准：6cc,20cc
- 涂布药液粘度
- 标准：0.5～50cP
- 涂布均一性
- 标准：＜±５％（Dry膜厚2μm时）
- 装置外形尺寸
- W800／D680／H777 (mm) 270kg
TMC系列 台式移动涂布装置 TMC25
TMC系列暂时停产。
产品特点
###高性能定量吐出泵
###高精度药液喷嘴
###省液化
###对应多种光阻材料
###优化研发仕样
###驱动机构与大型设备接近可进行量产模拟
###配有带锁定机构的安全盖
###配有升降pin机构，基板抽取简单
###高粘度对应
Specification
- 基板尺寸
- Max：400×500mm
- 基板厚度
- 标准：0.3ｍ～1.1ｍｍ
- Pump吐出容量
- 标准：6cc,20cc
- 涂布药液粘度
- 标准：0.5～50cPOption：～10,000cP
- 涂布均一性
- 标准：＜±3％（Dry膜厚2μm时）
- 装置外形尺寸
- W1400／D950／H2000 (mm) 1000kg
Sales Div.Process2 Business Unit
（086）239-5570
（086）239-5511
