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高清洁传送系统

一般环境用搬运机器人

サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
PLP对应 伺服电机一般环境用清洁机器人

This product is the single robot developed for PLP.

产品特点

###Supported up to max. 650mm square substrate.

###Supported to long stroke elevating.

Specification

适用对象
角基盤 300~650㎜
运动轴
R轴/T轴/Z轴/S轴
运动范围
R:机械臂最大到达距离 760mm(from swivel center)T:±185degZ:500mmS:2000mm
运动时间
R:1.8sec/Full stroke(-520mm~760mm)T:2.0sec/180degZ:1.5sec/500mmS:2.5sec/2000mm
往返精确度
R:±0.2mmT:±0.03degZ:±0.1mmS:±0.25mm
駆动电机
AC 伺服电机
速度控制方式
S-sharped acceleration/deceleration control
通信规格
RS232C/ETHERNET
适用范围
Power:Supplied from controllerVAC:-80kPa or less 15L/min or moreΦ6 one-touch joint 2 systems
质量
机器人    Approx.110kg滑动导轨  Approx.220kg
サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
PLP对应 伺服电机一般环境用清洁机器人

This product is the double robot developed for PLP.

产品特点

###Supported up to max. 650mm square substrate.

###Supported to long stroke elevating.

Specification

适用对象
角基盤 300~650mm
运动轴
R1轴/R2轴/T轴/Z轴/S轴
运动范围
R:机械臂最大到达距离 760mm(from swivel center)T:±185degZ:500mmS:880mm
运动速度
R1轴・R2轴:1.5sec/1175mmT:1.8sec/180degZ:2.0sec/500mmS:1.5sec/880mm
往返精确度
R1轴・R2轴:±0.1mm、T:±0.03degZ:±0.1mmS:±0.25mm
駆动电机
AC 伺服电机
速度控制方式
S-sharped acceleration/deceleration change pulse generator control
通信规格
RS232C/ETHERNET
适用范围
Vacuum:-80kPa or less( Φ6×Φ4 tube one-touch joint connection ) 2systemsPower:Supplied from robot controller.
质量
机器人    Approx.140kg滑动导轨  Approx.150kg
sys-eg@tazmo.co.jp

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