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PSYRION® リン酸再生装置

窒化膜エッチングに用いられる熱リン酸は、プロセス処理により生成される珪素の濃度が上昇するため、定常的に新液への交換が必要になります。この珪素を弊社独自の技術により除去する事でリン酸の再生・再利用が可能になります。PSYRION®は、先端半導体メーカー様で多数採用され、薬品コストの削減、環境対策に貢献しています。