PRODUCTS製品情報
FPD製造装置
マニュアルコーター
TMCシリーズ テーブル移動型塗布装置 TMC14
現在、一時的に生産を中止しております。
製品特徴
###高性能定量吐出ポンプ
###高精度ノズル
###塗布液材料の省液化
###様々な塗布材料に対応
###R&D用対応として仕様最適化
###大型装置と駆動機構を同じにする事で展開が容易
###オプションでロック機構付安全カバー搭載
###オプションでマニュアル減圧乾燥機セット販売
製品規格
- 基板サイズ
- 最大:210×300mm
- 基板厚み
- 標準:0.3m~1.1mm
- ポンプ吐出容量
- 標準:6cc,20cc
- 塗布液粘度
- 標準:0.5~50cP
- 塗布均一性
- 標準:<±5%(Dry膜厚2μm時)
- 装置本体外形
- W800/D680/H777 (mm) 270kg
TMCシリーズ テーブル移動型塗布装置 TMC25
現在、一時的に生産を中止しております。
製品特徴
###高性能定量吐出ポンプ
###高精度ノズル
###塗布液材料の省液化
###様々な塗布材料に対応
###R&D用対応として仕様最適化
###大型装置と駆動機構を同じにする事で展開が容易
###ロック機構付安全カバー搭載
###リフトピン機構搭載により、基板の取り出しが容易
###オプションで高粘度対応
製品規格
- 基板サイズ
- 最大:400×500mm
- 基板厚み
- 標準:0.3m~1.1mm
- ポンプ吐出容量
- 標準:6cc,20cc
- 塗布液粘度
- 標準:0.5~50cPオプション:~10000cP
- 塗布均一性
- 標準:<±3%(Dry膜厚2μm時)
- 装置本体外形
- W1400/D950/H2000 (mm) 1000kg
プロセス2事業 営業課
(086)239-5570
(086)239-5511