PRODUCTS製品情報

製品特徴

###真空吸引/窒素ガス圧送による供給方式です。

###複数台のCMP装置への集中供給が可能です。

###タッチパネルによる運転操作、各種設定、計器類モニター。

###アラーム履歴、原液ドラムバーコード管理、運転データロギングなど監視機能。

###手動操作、自動洗浄などメンテナンス機能。

###ポンプ供給方式への変更、CMP単体へのローカル供給など各種カスタマイズに対応しています。

###付帯ユニット例として、ドラムキャビネット、バルブボックス、モニタリング機器、フィルター、電源盤、監視盤などをラインナップしています。