PRODUCTS製品情報
クリーン搬送システム
大気搬送ロボット
製品特徴
###マッピングセンサーも用意しております。
###最適ソフトウェアにより最適旋回スペースを実現し、コントローラを内蔵して省スペースを実現しました。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：374㎜(アーム最大到達距離)T軸：370deg(原点：±185deg)Z軸：380㎜
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z軸：±0.05㎜ (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,RS-485
- ユーティリティ
- 電源：駆動 DC24V±5％ 10A :制御 DC24V±5％ 3.15A真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約35kg
製品特徴
###2FOUPにレールレスで対応します。
###マッピングセンサーも用意しております。
###最適ソフトウェアにより最適旋回スペースを実現し、コントローラを内蔵して省スペースを実現しました。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：470㎜(アーム最大到達距離)T軸：370deg(原点：±185deg)W軸：370deg(原点：±185deg)Z軸：380㎜
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z軸：±0.05㎜ (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,RS-485
- ユーティリティ
- 電源：駆動 DC24V±5％ 10A :制御 DC24V±5％ 3.15A真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約35kg
搬送事業 営業課
(086)239-5117
(086)239-5118
