PRODUCTS製品情報
半導体製造装置
洗浄装置
TIGRIS®
バッチ式浸漬洗浄・
エッチングシステム
バッチ式洗浄装置TIGRIS®200及びTIGRIS®300は、200mm/300mm対応型の高機能浸漬洗浄・エッチングシステムで、業界標準仕様に所有技術を付加しました。各種モニタを活用してのプロセス管理で、高品質プロセスを実現します。また、環境フレンドリー且つ、薬液使用量の低減を実現した、リン酸再生システムのPSYRION®やNISON® 1800もオプションとして搭載可能です。
製品特徴
プラットホーム
高速処理を可能にする搬送システムを搭載しています。
プロセスユニット
###各種モニタを利用した管理方法により、高品質プロセスを実現します。
###オプションのリン酸再生システムのPSYRION®やNISON® 1800を搭載することで、環境対策、薬液使用量の低減に貢献します。
###プロセスモジュールを自由にレイアウトすることが可能です。
操作性
視認性に優れたインターフェースを採用しています。
製品規格
- 適用ワーク
- φ200 & 300 mmウェーハ
アプリシア事業 営業課
（03）6892-5123
（03）6233-9730
