PRODUCTS製品情報

FPD製造装置

FPDコーター/PLPコーター

ガントリー移動型塗布装置
TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置 TZS

量産技術確立!(※現在、一時的に生産を中止しております。)

製品特徴

###高性能定量吐出ポンプ

###高精度ノズル

###高速塗布対応

###ロボット搬送に対応

###ロック機構付安全カバー搭載

###ノズル先端管理ユニット搭載

###塗布液&洗浄液自動供給システム搭載

###減圧乾燥機もセットで販売

###納入実績多数

製品規格

基板サイズ
最大:1500×1850mm
基板厚み
標準:0.4mm~1.1mm
ポンプ吐出容量
標準:20cc,200cc
塗布液粘度
標準:0.5~50cP
塗布均一性
標準:<±3%(Dry膜厚2μm時)
装置本体外形
別途打合せ
エア浮上型塗布装置
TZシリーズ エア浮上型塗布装置 TZFC

大型化に特殊技術で対応!(※現在、一時的に生産を中止しております。)

製品特徴

###高性能定量吐出ポンプ

###高精度ノズル

###高速塗布対応

###ロボット搬送に対応

###ロック機構付安全カバー搭載

###ノズル先端管理ユニット搭載

###塗布液&洗浄液自動供給システム搭載

###エア浮上式の為基板裏面接触によるダメージ削減

###エア浮上式の為基板剥離による静電気問題無

###基板連続投入による高速スループットに対応

###大型減圧乾燥機もセットで販売

###納入実績多数

製品規格

基板サイズ
最大:2940×3370mm最小:2200×2500mm
基板厚み
標準:0.4mm~0.7mm
ポンプ吐出容量
標準:200cc,400cc
塗布液粘度
標準:0.5~50cP
塗布均一性
標準:<±3%(Dry膜厚2μm時)
装置本体外形
別途打合せ
ガントリー移動型塗布装置
TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置 TZ(PLPコーター向け)

最新技術を集約 NEW!

製品特徴

###高性能定量吐出ポンプ

###高精度ノズル

###ロボット搬送に対応

###ロック機構付安全カバー搭載

###ノズル先端管理ユニット搭載

###塗布液&洗浄液自動供給システム搭載

###基板の反りに対応

###基板表面の凸凹に対応

###ジョブチェンジ(液替え)仕様による時間短縮

###EFEM対応

###ホットプレート付減圧乾燥機&プリベークもセットで販売

###新規分野に参入

製品規格

基板サイズ
標準:510×515mm
基板厚み
標準:0.5mm~2.0mm
ポンプ吐出容量
標準:20cc、200cc
塗布液粘度
標準:0.5~200cP
塗布均一性
別途打合せ
装置本体外形
別途打合せ

プロセス2事業 営業課

(086)239-5570

(086)239-5511

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