PRODUCTS製品情報
ナノインプリント
ナノインプリント DYAD®
TIWシリーズ ナノインプリント 全自動量産装置 DYAD®
Φ8／12インチ UV硬化仕様
製品特徴
###全自動量産装置（塗布・乾燥・ｱﾗｲﾒﾝﾄ・貼合・剥離）
###Φ8／12インチ UV硬化仕様
###AR/VR/MR、3Dセンサー等光学デバイスに対応
###アライメント精度±1μ
###ハイアスペクト、スランテッドに対応
###業界で実績のあるユニットと搬送ロボット
###離型フリー材の開発
製品規格
| Wafer size | 200mm/300mm | |
|---|---|---|
| Unit | Cassette | FOUP 25段 |
| 搬送 | TAZMO製Robot | |
| 塗布 | Spin coat Max 3,000rpm |
|
| Bake | Plate Type Max 250℃ |
|
| Cool | Plate Type / 水冷式 |
|
| Imprint | UV照射式 | |
| Remover | Release材不要 | |
| Option | 貼り合わせ精度 ±1µm以下 |
|
動画
プロセス2事業 営業課
(086) 239-5570
(086) 239-5511
