PRODUCTS製品情報

製品特徴

###ウェーハセンタリング、角度合わせを持ち替えなしで行える為、高速処理を行ないます。

###φ200mm～φ300mmのSEMI/JEIDAシリコンウェーハにマルチ対応可能です。

###ウェーハサイズ及びノッチ・オリフラの種別を自動認識するため、上位コントローラからの設定が不要です。

###コントローラを内蔵したコンパクトなデザインに仕上がっています。

###RS-232Cもしくは、RS-485によるシリアル通信または、フォトI/Oによるパラレル通信で制御可能です。