PRODUCTS製品情報
FPD製造装置
FPDコーター/PLPコーター
TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置 TZS
量産技術確立！（※現在、一時的に生産を中止しております。）
製品特徴
###高性能定量吐出ポンプ
###高精度ノズル
###高速塗布対応
###ロボット搬送に対応
###ロック機構付安全カバー搭載
###ノズル先端管理ユニット搭載
###塗布液＆洗浄液自動供給システム搭載
###減圧乾燥機もセットで販売
###納入実績多数
製品規格
- 基板サイズ
- 最大：1500×1850mm
- 基板厚み
- 標準：0.４ｍｍ～1.1ｍｍ
- ポンプ吐出容量
- 標準：20cc,200cc
- 塗布液粘度
- 標準：0.5～50cP
- 塗布均一性
- 標準：＜±3％（Dry膜厚2μm時）
- 装置本体外形
- 別途打合せ
TZシリーズ エア浮上型塗布装置 TZFC
大型化に特殊技術で対応！（※現在、一時的に生産を中止しております。）
製品特徴
###高性能定量吐出ポンプ
###高精度ノズル
###高速塗布対応
###ロボット搬送に対応
###ロック機構付安全カバー搭載
###ノズル先端管理ユニット搭載
###塗布液＆洗浄液自動供給システム搭載
###エア浮上式の為基板裏面接触によるダメージ削減
###エア浮上式の為基板剥離による静電気問題無
###基板連続投入による高速スループットに対応
###大型減圧乾燥機もセットで販売
###納入実績多数
製品規格
- 基板サイズ
- 最大：2940×3370mm最小：2200×2500mm
- 基板厚み
- 標準：0.4ｍｍ～0.7ｍｍ
- ポンプ吐出容量
- 標準：200cc,400cc
- 塗布液粘度
- 標準：0.5～50cP
- 塗布均一性
- 標準：＜±3％（Dry膜厚2μm時）
- 装置本体外形
- 別途打合せ
TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置 TZ（PLPコーター向け）
最新技術を集約 NEW！
製品特徴
###高性能定量吐出ポンプ
###高精度ノズル
###ロボット搬送に対応
###ロック機構付安全カバー搭載
###ノズル先端管理ユニット搭載
###塗布液＆洗浄液自動供給システム搭載
###基板の反りに対応
###基板表面の凸凹に対応
###ジョブチェンジ(液替え)仕様による時間短縮
###EFEM対応
###ホットプレート付減圧乾燥機＆プリベークもセットで販売
###新規分野に参入
製品規格
- 基板サイズ
- 標準：510×515mm
- 基板厚み
- 標準：0.5ｍｍ～2.0ｍｍ
- ポンプ吐出容量
- 標準：20cc、200cc
- 塗布液粘度
- 標準：0.5～200cP
- 塗布均一性
- 別途打合せ
- 装置本体外形
- 別途打合せ
プロセス2事業 営業課
（086）239-5570
（086）239-5511
