PRODUCTS製品情報

FPD製造装置

マニュアルコーター

テーブル移動型塗布装置
TMCシリーズ テーブル移動型塗布装置 TMC14

現在、一時的に生産を中止しております。

製品特徴

###高性能定量吐出ポンプ

###高精度ノズル

###塗布液材料の省液化

###様々な塗布材料に対応

###R&D用対応として仕様最適化

###大型装置と駆動機構を同じにする事で展開が容易

###オプションでロック機構付安全カバー搭載

###オプションでマニュアル減圧乾燥機セット販売

製品規格

基板サイズ
最大:210×300mm
基板厚み
標準:0.3m~1.1mm
ポンプ吐出容量
標準:6cc,20cc
塗布液粘度
標準:0.5~50cP
塗布均一性
標準:<±5%(Dry膜厚2μm時)
装置本体外形
W800/D680/H777 (mm) 270kg
テーブル移動型塗布装置
TMCシリーズ テーブル移動型塗布装置 TMC25

現在、一時的に生産を中止しております。

製品特徴

###高性能定量吐出ポンプ

###高精度ノズル

###塗布液材料の省液化

###様々な塗布材料に対応

###R&D用対応として仕様最適化

###大型装置と駆動機構を同じにする事で展開が容易

###ロック機構付安全カバー搭載

###リフトピン機構搭載により、基板の取り出しが容易

###オプションで高粘度対応

製品規格

基板サイズ
最大:400×500mm
基板厚み
標準:0.3m~1.1mm
ポンプ吐出容量
標準:6cc,20cc
塗布液粘度
標準:0.5~50cPオプション:~10000cP
塗布均一性
標準:<±3%(Dry膜厚2μm時)
装置本体外形
W1400/D950/H2000 (mm) 1000kg

プロセス2事業 営業課

(086)239-5570

(086)239-5511

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